| 是否进口：否 | 加工定制：否 | 类型：等离子去胶机 |
| 产品用途：去胶机 | 产品别名：晶圆去胶机 | 重量：80kg |
一、【等离子去胶机】功能特点：
（01）耐用的高品质不锈钢结构和固定装置；
（02）不锈钢托盘设计，可调节托盘间距；
（03）8K 镜面不锈钢腔体，***级密封；
（04）13.56MHz 数字高频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保***的清洗效果；
（05）直观的触摸屏，过程参数实时监控；
（06）方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求；
（07）支持各种工艺气体，如：氩气，氧，氢，氦和氟化气体；
（08）两个标准的浮子针阀流量控制器，用户可以根据需要来调节；
二、【等离子去胶机】技术参数：
（01）射频频率：13.56 MHz
（02）射频功率：0-300W 可调
（03）腔体材质：进口 316 镜面不锈钢，***级密封
（04）腔体尺寸：240(L)*280(D)*200(H)mm
（05）腔体有效处理面积：230（L）× 205（D）mm
（06）处理产品尺寸：可处理 8 寸晶圆，向下兼容 6 寸，4 寸晶圆
（07）放电电极：高导电铝合金专用电极
（08）放电形式：CCP & RIE 离子反应放电模式
（09）电极间距：可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，大大提升处理能力和效率
（10）气体流量控制器：浮子针阀流量控制器， 0-500ml/min
（11）气路数量：2 路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等 （如需接入腐蚀性气体，需提前告知）
（12）真空计：有真空计
（13）系统控制：4.3寸触摸屏PLC控制
（14）电源供应：220V
（15）气管接口：φ8mm
（16）气体纯度：99.***
（17）气体压力：0.3~0.6Mpa
（18）排气口：KF25
（19）整机功率：1000W
（20）外形尺寸：600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)
（21）重量：80kg
