| 是否进口：是 | 原产国/地区：美国 | 加工定制：否 |
| 品牌：PIE | 型号：Tergeo/Tergeo Plus |
一、美国PIE Tergeo系列 表面处理|PDMS键合|等离子清洗机 主要配置：
| 产品型号： | Tergeo | Tergeo Plus |
| 腔室大小： | 内径φ110mm,深度280mm； | 内径φ160mm,深度280mm； |
| 腔室材质： | 高纯度石英玻璃，相对于派瑞克斯（Pyrex）玻璃有着更强地耐腐蚀性和更少地碱杂质； | |
| 常用气体： | 空气，氧气，氢气，氩气，氮气和其他混合气体； | |
| 气路控制： | 标配两路MFC，可选配三路MFC； | |
| 射频频率： | 13.56 MHz，远高于同条件下KHz频率所产生的等离子密度； | |
| 射频功率： | Tergeo 0~75W连续可调，可选配到150W； Tergeo Plus标配150W，可选配到300W和500W； 射频功率可以以 1 瓦的间隔进行调整； | |
| 程序设置： | 共有20个可设置的程序配方，工作顺序中最多有三个清洁步骤。 | |
| 用户界面： | 7英寸电阻触摸屏，可用手指触摸，无需手写笔。 | |
| 操作方法： | 自动配方执行：自动工作序列执行;手动操作。 | |
二、美国PIE Tergeo系列 表面处理|PDMS键合|等离子清洗机 主要用途：
1、清洗纳米级样品；
2、蚀刻光刻胶，除渣、硅片清洗；
3、引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解封；
4、PDMS/微流控/载玻片/芯片实验；
5、改善金属与金属或复合材料的结合；
6、激活聚合物上的官能团，实现亲水或疏水润湿性，提高粘合强度和可印刷性，促进医疗设备的生物相容性。
