| 是否进口：是 | 加工定制：否 | 品牌：PVA TePla |
| 型号：IoN 40 | 工作电压：220V |
一、德国PVA TePla等离子清洗机IoN 40功能特性：
● 灵活的电极设计***了工艺的均匀性
● 使用Windows系统的工业计算机控制
● 触摸屏操作，图形用户界面（GUI）
● 菜单驱动式工艺过程
● 绘图和自诊断功能
● 以太网通讯功能
● 节能模式
● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
● 安装简单快捷
二、德国PVA TePla等离子清洗机IoN 40规格参数：
1、工作腔室材料：铝
2、容积：36.5 升
3、内部尺寸：229 x 330 x 483 mm
4、可选电极
● 可抽卸的多层电极板
● 垂直电极
● 3层温控电极
● 低微粒电极
● 次级等离子体电极
5、质量流量控制计：最多至6路气体
6、工艺压力：200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
7、抽真空时间：大约1分钟 (取决于真空泵)
8、放气：可调
9、射频发生器：风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
10、供给需求电源：220V 单相,2.3 KW, 50Hz
11、工艺气体：输入压力 1-2 bar
12、吹扫气体：输入压力 1-2 bar
13、压缩空气：输入压力 4-6 bar
14、尺寸：宽/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
15、重量：约157千克（不含泵）
可选配项
● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 300 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 单体处理装置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 气相MFC
