发布时间：2023-04-04 11:26:43
一、匀胶机吸盘简介：
匀胶机的吸盘（英文名称：chuck）又称匀胶机载物盘，匀胶机托盘、真空托盘、匀胶机片托等。
根据匀胶机固定基片的方式不同又可细分为真空托盘和非真空托盘，而我们口中常说的“吸盘"便是采用真空吸附的方式，将基片吸附在真空托盘表面。由此而衍生的转接托盘（图1）便是利用同心圆的原理来实现基片和电机旋转的转速达到一致；
此外，本着节约资源、绿色环保的理念，我们绝大多数匀吸盘的材质均采用的是天然聚丙烯（NPP）。天然聚丙烯（NPP）优点在于其不仅***、无臭、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好，还具有耐化学性、电绝缘性、高强度机械性能和良好的高耐磨性等特点。当然，考虑到每个用户实际工艺需求，比如在要旋涂一些温度较高的基片时，我们也可以根据匀胶机的种类来提供相匹配的金属或者不锈钢材质吸盘（图2、图3）。
二、如何选择合适的匀胶机吸盘？
匀胶机在旋涂过程中一般采用自转式旋涂的方式来完成工艺。因此基片需要固定在旋转吸盘上，通常采用的方法是真空吸附，所以吸盘的大小以及真空的强度两者对基片吸附后产生的形变有一定的影响，如吸盘面积越小，吸附后产生的形变就越大,这时所旋涂的基片片内膜厚误差会加大，且容易产生干涉花纹，通过实际验证后得出：吸盘面积占所吸附基片面积的1/2~2/3为佳。
